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cluster集簇镀膜

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晶圆PVD制程装备

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产品概述:

SEMI-PVD薄膜设备是公司在半导体领域的第二款批量生产设备,接受特定客户定制,为国内不多具有蒸发、溅射全产线生产能力的专业厂家,是未来AMAT、Evatec、Ulvac等企业产品的有力竞争者。

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