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电阻电子束沉积

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surpass工业级电阻电子束蒸发

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产品概述:

本设备适用于高精密光通讯产品镀制光学膜, 电学膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各种滤光片、玻璃片及塑胶(树脂)件上镀制增透膜和截止膜等各种膜系镀膜。为满足广大用户的不同需求,我公司可接受多种形式的真空镀膜机的定制要求,包括对真空室体尺寸、真空系统配置、工件夹具系统、工件烘烤系统、膜厚监控系统、蒸发源系统、充气系统、离子源系统以及电气控制系统的特殊定制。

详细信息


    1.采用箱式结构,腔体尺寸可以定制,直径350-2600mm,真空系统后置,便于操作和维修;特别适合放置在净化间内做穿墙式安装。
    2.设备真空系统抽速大,具有抽气时间短,真空度高,生产周期短等优点,可以选配大型扩散泵系统、分子泵系统、低温泵系统。
    3.采用不锈钢铠装加热器上烘烤,也可选配红外辐射加热器,烘烤温度均匀,寿命长,可达到烘烤温度350℃,烘烤均匀性270℃±10℃。
    4.电阻蒸发、电子束蒸发、有机蒸发、旋转组蒸任意选择,有效匹配,满足不同需求的镀膜工艺。
    5.工件转动采用上部中心驱动,轴承带水冷,磁流体密封,转动平稳可选配行星工件盘或球形工件盘。
    6.采用瑞士进口石英晶体膜厚控制仪,可实现镀膜过程的自动控制。
    7.采用西门子的镀膜控制系统,人机操作界面美观实用,系统稳定,可实现系统的手动、半自动和全自动操作。
    8.具有国内大口径精密光学镀膜机和刻蚀机的核心专利。
    多年来我公司先后开发了350、450、500、550、630、700、800、900、1100、1250、1300、1500、1800、2200、2500尺寸系列的箱式真空镀膜机。


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