8590海洋之神(中国)官网-IOS/安卓/手机版APP下载

电阻电子束沉积

当前位置: 产品中心 > 电阻电子束沉积 >

半导体制程PVD沉积台

浏览量:477

产品概述:

本装置使用电阻蒸发、电子束蒸发和离子源辅助清洗、辅助沉积和原位刻蚀进行复合,用于制备特种薄膜,薄膜具有均匀性、附着力、抗损伤、低颗粒物污染等特点,是半导体制程中关键工序的核心装备,其技术长期被美国、日本等国技术巨头所垄断,属于国内卡脖子装备,也是制约国内半导体领域自主可控的关键设备,该设备的技术突破和产业化对国内半导体产业发展具有积极意义。

详细信息
XML 地图